低場(chǎng)核磁是如何助力國產(chǎn)CMP拋光液成功打破國外壟斷?
CMP 全稱為 Chemical Mechanical Polishing,即化學(xué)機(jī)械拋光。該技術(shù)是半導(dǎo)體晶圓制造的必備流程之一,對(duì)高精度、高性能晶圓制造至關(guān)重要。拋光液的主要成分是研磨顆粒,PH值調(diào)節(jié)劑,氧化劑,分散劑;低場(chǎng)核磁弛豫技術(shù)可以區(qū)分出納米顆粒與溶劑的固液界面間那一層薄薄的表面溶劑分子,從而推導(dǎo)出溶劑覆蓋在顆粒表面的比表面積,從而評(píng)價(jià)例如拋光液以及相關(guān)懸浮液樣品的分散性。
2024-03-22